▲사중극 질량분석기의 특성을 분석하는 모습 /제공=표준연

 
[대전=뉴스충청인] 최정현 기자=KRISS(한국표준과학연구원, 원장 강대임) 주도로 기체 질량 측정센서에 대한 규격이 국제표준화기구 진공기술분야(ISO/TC 112)에서 국제표준으로 승인됐다.

기체의 질량을 측정하는 고감도 센서인 사중극 질량분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS)는 반도체, 디스플레이 등 산업 현장을 비롯해 환경, 의료, 식품 등 다양한 분야에서 활용되고 있다.

장비의 가격은 수천만 원에서 수억 원에 이르며, 국내에서 사용 중인 수천대 이상의 장비가 전량 수입에 의존하고 있다. 앞으로 첨단산업의 발달로 관련 장비의 수요는 더욱 늘어날 전망이다.

기존의 사중극 질량분석기에 대한 국제표준은 그 필요성에도 불구하고 센서 교정 및 측정 표준화를 위한 다양한 과학적 요인들을 해결하지 못해 표준화에 어려움을 겪어 왔다.

이를 해결하기 위해 2007년도 말부터 국제표준화기구에서는 전 세계에서 혼용되고 있는 사중극 질량분석기에 대한 단어 및 정의를 하나로 제정하고, 제조사가 센서의 사양을 분석하는 방법을 표준화하기 위해 노력해 왔다.

이번에 국제표준으로 승인된 ‘사중극 질량분석의 정의 및 사양 지침(ISO 14291)’은 국제표준화기구에서 프로젝트리더로 활동하고 있는 KRISS 진공기술센터 김진태 박사의 주도로 이뤄졌다.

이번 국제표준 지침에는 사중극 질량분석기에서 사용하는 부품 및 용어에 대한 정의뿐만 아니라, 사양을 제시하고 분석하는 방법들이 들어있다.

이번 국제표준 승인을 통해 사중극 질량분석기를 통한 측정 신뢰성 향상 및 관련 장비의 국산화에 크게 기여할 전망이다.

사중극 질량분석기는 고감도 센서이기 때문에 사용하는 환경과 이력에 따라 신호가 수백 배 이상 변하는 등 안정적인 측정이 어려워 산업현장에서 원활한 사용이 이뤄지지 못했다.

앞으로 김진태 박사는 사중극 질량분석기의 불확도 요인과 교정절차에 대해 국제표준안을 제정하고, 측정 신뢰성을 향상시켜 관련 분석장비를 국산화할 계획이다.

 

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